독일 머크(버슘머트리얼즈)-메카로 전구체 사업 인수

* 메카로
: SK하이닉스-하이케이(High-K, 고유전율) 전구체 공급사 중 하나
: 여러 전구체 중 High-K 재료에 특화
: 최근 하프늄 자체 기술 개발 성공 (양산 공급 단계 아님)


* 머크
: 화학소재부문 자회사 버슘머트리얼즈 보유


*전구체
: 반도체 웨이퍼상에 박막 도포 물질의 전단계 물질

: CVD(기상화학증착)⋅ALD(원자층증착)장비에 전구체 주입시, 가스들의  반응에의해  웨이퍼 상에 얇은 막 형성

: 이 박막을 식각(에칭)시켜 금속 배선, 절연막 등 구현

** 하이케이 재료
: 지르코늄⋅하프늄 등 전하 저장 능력이 뛰어난 소재
: D램 미세공정화 진행,  기존 재료의 전하 저장의 효율성 감소, 메모리 반도체 업계의 하이케이 재료 사용량증가 추세

D램구조

** 지르코늄
:  국내외 공급사가 복수로 존재

** 하프늄
: 유전율 더 높음
: 삼성전자⋅SK하이닉스가 각각 한 개씩의 공급사.  
: 개발 어려움 - 일본 트리케미칼래버토리(TCLC) 특허 회피 필수

*** 삼성전자 : 일본 아데카
*** SK하이닉스 : SK트리켐