엘오티베큠

엘오티베큠
: 국내 유일 건식(Dry)진공펌프 전문업체

+  CVD(화학기상증착) 공정에 장비 납품중.

++ CVD
: 원료가스에 열, 전기에너지 등 공급 후 화학반응 생성 후, 웨이퍼 표면에 박막증착 공정.
+++ 표면접착력 뛰어나고 대량양산 용이한  가장 보편적인 증착 방법


+ ALD(원자층증착) 공정용 진공펌프 개발 추진
> 차세대 메모리반도체 공정
>> 해당 공정 신소재 증착용 ALD 장비 진공 형성용 진공펌프 기술 국책과제 형식으로 개발 중
> CVD 대비 더 높은 진공 환경 푤요. 펌핑 용량 증가 필요



* ALD
: 원자 수준인 1옹스트롬(0.1나노미터) 두께로 다층 증착하는 기술

- CVD 대비 느린  증착 속도
+ 개별적으로 전구체와 반응체 주입하여 매우 미세한 두께 박막 형성
+ 반도체 회로 선폭 10nm대 이하로 좁아지면서 ALD 공정이 기존 CVD 공정 대체 추세