압력계, pressure gauge
기체,증기의 압력을 측정하는 계기.
진공계, vacuum gauge
기체,증기의 대기압보다 낮은 압력을 측정하는 계기. 대부분의 경우, 측정자와 제어 계측부로 구성된다.
참고, 보통 사용되고 있는 진공계는 이 규격에 규정 하는 의미의 압력을 집적적으로는 측정하지 않고 특정조건 하에서 압력에 관련된 다른 물리량을 측정하는 것이 많다.
측정자, gauge head
진공계에서 감압기능을 갖추고 진공계에 부착되는 진공계의 구성부품.
나진동계(측정자), nude gauge
측정자에 직접 삽입되는 감압소자를 갖춘 외위기가 없는 측정자.
제어 계측부, gauge control unit
축정자를 작동시켜 계측하는 진공계의 구성 부품.
절대 진공계, absolute vacuum gauge
다른 진공계를 참조하지 않고 또 기체의 종류에 관계 없이 물리량의 측정만으로 압력이 구해지는 진공계.
차압 진공계, differential vacuum gauge
가요막 도는 액기둥과 같은 압력차를 감지하는 격리 매체를 이용하여 그 양쪽에 걸리는 압력차를 측정하는 진공계.
전압계, total pressure vacuum gauge
기체의 전압을 측정하는 진공계.
분압계, partial pressure vacuum gauge
진공분석계, partial pressure analyzer
혼합기체 성분의 분압을 측정하는 진공계.
참고, 현재 사용되고 있는 분압진공계의 대부분은 질량 분석계의 일종이다.
감도, sensitivity
어떤 압력일 때 진공계에 지시된 눈금의 변화와 상당하는 압력변화의 비.
비감도, relative sensitivity factor
進공계의 어떤 기체에 대한 감도와 그 진공계의 동일 조건 하에서 동알 압력의 질소에 대한 감도의 비.
양기호,: γ
(전리 진공계의) 감도 계수, ionization gauge coefficient
주어진 기체에 대하여 전리진공계의 정해진 동작조건 하에서의 이온전류를 이온화를 위한 전자전류와 압력의 곱으로 나눈 것.
양기호: K, 단위기호: Pa-1.
질소 상당압(환산치), equivalent nitrogen pressure
진공계의 눈금과 같은 지시를 주는 질소의 압력.
X선 한계, X ray limit
열음극 전리진공계에서 주로 집이온 전극으로부터 방출되는 광전자 전류에 대응하는 질소 상당압.
액주차 진공계, liquid level manometer
격리 매체로서 액기둥을 이용하는 차압 진공계.
U자판 진공계, U tube manometer
U자판을 이용하는 액주차 진공계.
탕성 진공계, elastic element gauge
탕성체 (판, 관 등)를 격리매체로 한 차압 진공계.
격막 진공계, diaphragm gauge
가요 격막을 이용하여 압력공간을 구분하는 탄성 진공계.
불르동관 진공계, Bourdon gauge
가요 격막을로서 부르동관을 사용하는 탄성 진공계.
압축 진공계, compression gauge
기체를이미 알고 있는 비율로 압축하고 그 압력을 측정하여 압축 전의 압력을 구하는 진공계.
비고, 보일의 법칙을 적용할 수 있는 경우에만 사용한다.
맥로드 진공계, Mcleod gauge
수은주를 이동함으로써 깇체를 압축하여 그 기체의 압력을 액주차에 의해 구하는 압축 진공계.
점성 진공계, viscosity gauge
저압 기체의 점성력이 기체의 압력에 의존하는 것을 이용하여 물체 표면에 작용하는 점성력의 변화를 계축하여 압력을 구하는 진공계.
열전도 진공계, thermal conductivity gauge
저압 기체의 열전도가 기체의 압력에 의존하는 것을 이용하여 소자의 온도변화를 계측하여 압력을 구하는 진공계.
피라니 진공계, Pirani gauge
가열되어 이쓴 소자가 금속 가는 선이며 그 전기저항이 온도에 따라 변화하는 것을 이용하는 열전도진공계.
섬미스터 진공계, thermister gauge
가열되어 있는 소자가 서미스터이며 그 전기저항이 온도에 따라 변화하는 것을 이용하는 열전도진공계.
크누센 진공계, Knudsen gauge
기체분자의 평균 자유행정에 비하여 아주 작은 간격을 유지하며 배치되고 또한 다른 온도로 유지되고있는2면 사이에서의 운동량 수송속도를 측정함으로써 압력을 구하는 진공계.
전리 진공계, ionization vacuum gauge
전리에 의해 기체 중에서 생성된 이온 전류를 측정 하여 압력을 구하는 진공계,
냉음극 전리진공계, cold cathode ionization gauge
냉음극 방전에 의한 기체의 전리를 이용하는 전리진공계.
페닝 진공계, Penning gauge
한 쌍의 평행 편판 음극사이에 고리모양 양극을 놓고 그들 측에 평행으로 자계를 거는 냉음극 전리진공계.
냉음극 마그레트론 진공계, cold cathode magnetron gauge
같은 측 원통모양의 전극을 배치하고 전계에 수직으로 자계를 거는 냉음극 전리진공계.
가이슬러관, discharge tube indicator
한 쌍의 전극을 가지며, 그 사이의 진공방전 섁 및 모양에 따라 기체의 압력 및 종류의 개략을 나타내는 투명한 유리관구.
열음극 전리진공계, hot cathode ionization gauge
열음극으로부터 방출된 전자에 의해 기체를 전리하는 전리진공계.
3극관형 전리진공계, triode ionization gauge
통상의 3극관 구조를 가진 열음극 전리진공계. 필라멘트를 관의 축 위에 놓고 그리드 및 플레이트를 필라멘트와 동축적으로 배치하여 각각을 집전자 전극 및 집이온 전극으로 한 것.
베이아드-알퍼트(B-A)진공계, Bayard – Alpert gauge
원통모양 그리드의 바깥쪽에 열음극을 또 축 위에 가는 선의 집이온 전극을 배치하여 X선 한계를 저하시키는 초고진공용 열음극 전리진공걔.
모듈레이터 진공계, modulator gauge
모듈레이터로서의 보조 전극을 설치하여 그 전위변화에 의한 집이온 전극전류의 변화를 축정하고 잔류전류의 영향을 예상할 수 있도록한 베이야드-알퍼트진공계
익스트랙터 진공계, extractor gauge
실드에 둘러싸인 집이온 전극을 원통모양 그리드의 축을 따라 그 바깥쪽에 놓음으로써 X선 한계를 저하시키는 초고진공용 열음극 전리진공계.
서프레서 진공계, suppressor gauge
서프레서 전극을 집이온 전극의 근처에 설치하여 집이온 전극으로부터의 2차 전자방출 영향을 억제함과 동시에 X선 한계를 저하시키는 초고진공용 열음극 전리진공계.
만곡 빔 진공계, bent beam gauge
이온이 전리영역에서 정전 편향기로 인출되는 초고진공용 열음극 전리진공계.
열음극 마그네트론 진공계, hot cathode magnetron gauge
단순한 원통모양 마그네트론 구조를 가진 초고진공용 열음극 전리진공계.
고주파 질량분석계, radio frequency mass spectrometer
일련의 그리드에 의해 정부 교대로 형성된 고주파전계에 의해 이온을 선택적으로 가속하여 분리하는 질량분석계 형 부분압 진공계.
4극자(4중극) 질량분석계, quadrupole mass spectrometer
4개의 기둥모양 전극에 의해 형성된 직류분을 포함하는 고주파 쌍곡선형 전계에 의해 이온을 분리하는 질량분석계 형 부분압 진공계.
자계편향 질량분석계, magnetic deflection mass spectrometer
정전계에서 가속된 이온의 궤도를 자계에서 편향함으로써 이온을 분리하는 질량분석 형 부분압 진공계.
트로코이드 질량분석계, trochoidal focusing mass spectrometer
직교한 정전계 및 정자계 중에서 이온의 궤도가 트로코이드 형으로 되는 것을 이용하여 이온을 분리하는 질량분석계 형 부분압 진공계.
오메가트론 질량분석계, omegatron mass spectrometer
직교한 정전계 및 정자계 중에서 이온의 사이클로트론 공면현상을 이용하여 이온을 분리하는 질량 분석계 형 부분압 진공계.
비행시간 질량분석계, time of flight mass spectrometer
같은 운동 에너지를 가진 이온의 비행속도가 질량에 의존하는 것을 이용하여 이온을 분리하는 질량분석계 형 부분압 진공계.
