AMAT Platform - Vistara

Vistara (비스타라)

: AMAT (어플라이드머티리얼) New Platform (플랫폼)

+ Load Port, LP (로드 포트) : Wafer Foup(웨이퍼 풉) 4개 혹은 6개
+ Process Chamber, PM(프로세스 챔버)최소 4개에서 최대 12개 로 구성
+ 엔듀라(Endura), 프로듀서(Producer), 센튜라(Centura), 센트리스(Centris) 등을 잇는 차세대 플랫폼”