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반도체 장비 지능화 플랫폼 개발 사업
- 한국전자기술연구원(keti) 주도
- '반도체 장비 지능화 플랫폼 개발 사업' 착수
- 반도체 장비 데이터 수집·처리·분석으로 공정 최적화 솔루션 기술을 개발 및 공정 데이터 규격을 표준화를 통해 범용 반도체 장비를 위한 플랫폼 형태로 전문화할 방침
- 초기, 데이터 분석 및 처리를 클라우드에서 운용
- 장기적, 반도체 공정 양산 라인(팹)에 시스템 구축 목표
- 향후, 반도체 제조사가 시스템을 직접 관리하는 '온 프레미스 컴퓨팅'형 플랫폼으로 전문화할 계획
- 2026년 플랫폼 구현 목표
- 서플러스글로벌, 증착장비 업체 바코솔루션 참여
- 서플러스글로벌 : 원자층증착장비(ALD)
- 바코솔루션 : 물리적기상증착(PVD) 장비
- 증착 장비 공정 데이터 확보, 반도체 장비 성능 극대화를 위한 최적화 AI 알고리즘 개발 계획
- 세계 반도체 업계 주요 제조 공정에 AI 접목 시도 활발
- 각종 센서와 AI 솔루션 적용 신제품 출시 (by 어플라이드 머티어리얼즈, ASML, 램리서치, 도쿄일렉트론(TEL), KLA 등)
- AI 활용으로 반도체 제조 비용 절감 및 생산성 향상
- AI 활용으로 웨이퍼 손실 및 결함 파악 후, 공정 최적화
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