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하나머티리얼즈
- 반도체 건식식각에 사용되는 부품을 생산
- 가스가 균일하게 내려오도록 하는 일렉트로드(Electrode)
- 웨이퍼의 고정 및 가스가 균일하게 분포되게 하는 링(Ring)
- 램리서치, TEL 등 식각장비사를 통해 삼성전자, SK하이닉스 등 제조업체에게 납품하는 비포 마켓 업체
- 하나머티리얼즈는 TEL
- 티씨케이는 램리서치, AMAT
V10(400단 이상) NAND
- 삼성전자 2025년 양산 예정
- NAND 식각은 3스택(Stack)이 필요예상
- TEL 신규 장비 (2세대 극저온 식각장비) : 2스택만 으로 가능
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