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F2 Gas
제품명: 불소(Fluorine Gas, F2)
- 반도체 공정
세정용 가스
- 반도체, 디스플레이, 태양전지등 제조과정중 증착공정 끝난 후 CVD(Chemical Vapor Deposition) 장비 내부 세정용 특수가스
- 강력한 산화제
- 불연성 물질, 하지만 주변
화재 확대시킬 수 있음
H270 화재 유발 또는 화재 증폭
H280 고압가스 포함 ; 가열시 폭발 가능
H319 눈에 심한 자극
H330 흡입시 치명적
H361 태아 또는 생식능력 손상 유발
H370 호흡기, 간장, 신장 손상 유발
H372 장기간 또는 반복노출시 호흡기 손상유발
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