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지오엘리먼트
- ALD 증착 공정 캐니스터(Canister) 및 레벨 센서 생산
- Precursor (전구체) 기화 캐니스터, 초음파 레벨센서, 기화기 등 부품 및 모듈 제조
- 국내 기준 시장점유율 95%
- 주요 고객사
: 주성엔지니어링
: 원익IPS
: 삼성전자
: SK하이닉스
- EUV 노광장비 출하량 증가 >> ALD(Atomic Layer Deposition, 원자층 증착) 수요증가
* 캐니스터
- Precursor (전구체) 저장 및 기화 이송
- Precursor Level 정밀 측정용 레벨 센서 내장
- Precursor 의 온도 관리를 위한 히터 및 쿨링 부품 내장
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