마이크로웨이브 차단 방법
: 챔버 내부의 적절한 차폐 및 차폐 솔루션을 사용
1.
차폐 소재 사용:
마이크로웨이브 차단 기능의 특수 소재 사용, 각 반응기를 덮어 차단
1.1.
금속 메시 (Metal Mesh):
세밀한 금속 망 구조, 마이크로웨이브 차단에 사용
1.2.
페라이트 (Ferrite):
특정 주파수의 전자기파 흡수 또는 차단, 페라이트 필터 등이 활용
1.3.
기판 코팅 (Substrate Coating):
특정 종류 코팅 사용, 마이크로웨이브 차단 또는 흡수 유도
1.4.
알루미늄 포일 (Aluminum Foil):
알루미늄 시트 또는 테이프 등을 사용, 마이크로웨이브를 차단
1.5.
석영 (Quartz):
일부 석영 소재는 특정 주파수의 마이크로웨이브를 차단하거나 투과시킴
1.6.
폴리카보네이트 (Polycarbonate):
일부 폴리카보네이트 소재, 마이크로웨이브를 차단 가능
* PEEK(폴리에테르에테르케톤) :
고성능 엔지니어링 플라스틱 소재, 전자기파 차단에 효과적이지 않음.일반적으로 전기적 절연체로 사용. 마이크로웨이브를 차단용 아님. PEEK의 전기적 특성은 열 및 화학적 안정성에 중점을 두고 사용됨.
* 실리콘 웨이퍼 :
일반적으로 2.45GHz 주파수 마이크로웨이브 투과시킴. 실리콘은 전기적 전도성이 낮아서 마이크로웨이브를 차단하지 않고 통과시킴.
2.
파티션 설치:
각 반응기를 물리적으로 분리하는 내부 파티션 설치, 전파 간섭 최소화
3.
파장 조절:
각 반응기에서 사용되는 마이크로웨이브 주파수를 조절, 간섭 최소화
4.
파향 조절:
반응기 위치 또는 방향을 조절, 다른 반응기에 미치는 영향 최소화.
5.
전파 간격 조절:
각 반응기의 작동 주기 또는 시간을 조절, 전파 간 충돌 회피
Material
마이크로웨이브 차단
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