루트(진공)펌프, Roots vacuum pump
펌프 케이스 속을 서로 반대방향으로 회전하는 한 쌍의 누에고치 로터에 의해 기체를 수송하는 용적 이송식 진공펌프.
가스 밸러스트 (진공)펌프, gas ballast (vacuum) pump
적당량의 기체를 압축과정에서 펌프 내에 도입하고 펌프 내부에서 응축성 기체가 응축하지 않도록 한 적 이송식 진공펌프.
건식 회전(진공)펌프, dry-sealed vacuum pump
기름이나 액체를 사용하지 않고 기밀을 유지한 용적 이송식 진공펌프.
운동량 수송식 진공펌프, kinetic vacuum pump
기체에 특정 방향의 운동량을 주어서 연속적으로 기체를 운송하는 진공펌프. 유체작동 방식과 기계적 방식의 2가지로 대별한다.
터보(형) 진공펌프, turbine vacuum pump
고속회전하는 로터로 대량의 기체를 수송하는 운동량 수송식 진공펌프. 점성류 영역에서 유효하게 작동한다.
분자 펌프, molecular drag pump
고속회전하는 로터에 의해 그 표면에 충돌한 기체분자에 운동량을 주어서 기체를 수송하는 운동량 수송식 진공 펌프. 분자류 영역에서 유효하게 작동한다.
터보 분자펌프, turbo molecular pump
축류 터빈형 날개를 가진 로터 및 스테이터로 이루어진 분자펌프.
이젝터 (진공)펌프, ejector vacuum pump
고속으로 분출하는 작동유체의 소용돌이 작용에 의해 기체를 수송하는 운동량 수송식 진공펌프. 점성류 또는 중간류 영역에서 유효하게 작동한다.
물 이잭터(펌프), liquid jet vacuum pump
작동유체가 액체(통상은 물)인 이잭터 진공펌프.
공기 이잭터(펌프), gas jet vacuum pump
작동유체가 비 응축성 기체(통상은 공기)인 이잭터 진공펌프.
증기 이잭터(펌프), vapour jet vacuum pump
작동유체가 증기(수증기.수은증기,기름증기 등)인 이잭터 진공펌프.
확산 펌프, diffusion pump
증기분류 중에 확산된 기체분자 에 증기분자가 운동량을 줌으로써 기체를 수송하는 증기분자 진공펌프.
비고 작동증기로서는 일반적으로 기름 또는 수은증기가 이용되며 기름 확산펌프, 수은 확산펌프라 불린다.
확산 이잭터 펌프, diffusion ejector pump
확산펌프로서 작용하는 노즐과 이잭터 펌프로서 작용하는 노즐을 가진 다단식 증기분자 진공펌프.
분류형 기름 확산펌프, fractionating diffusion pump
펌프 작동액의 분류가 이루어져 고진공쪽 노즐에는 저증기압 성분이, 저진공쪽 노즐에는 고증기압 성분이 공급되는 다단식 기름 확산펌프.
자기 정화형 기름 확산펌프, self purifying diffusion pump
펌프 작동액의 분해 등에 따른 분술물이 보일러에 되돌아오는 것을 방지하는 기름확산펌프.
증기분사 (진공)펌프, vapour pump
증기의 분류로 배기작용을 하는 운동량 수송식 진공펌프. 분류의배기작용 기구에 따라 증기 제트진공펌프 및 확산펌프의 구별이 있다.
기체저장식 진공펌프, entrapment vacuum pump
표면에서의 수착 또는 응축 등에 의해 기체분자를 포착하고 저장함으로써 배기작용을 하는 진공펌프.
흡수(수착) 펌프, adsorption pump
단위질량당 참 표면적이 큰 물질(보기를 들면, 다공질물질)의 수착작용을 이용하는 기체 저장식 진공펌프.
게터 펌프, getter pump
게터 작용(즉, 화학적으로 활성인 고체표면의 수착작용)을 이용하는 기체 저장식 진공펌프.
서불리메이션 펌프, sublimation pump
연속 또는 비연속적인 승화, 증발에 의해 작성된 게터작용을 가진 면(게터면)을 이용하는 게터 펌프.
게터 이온 펌프, getter ion pump
전계,자계 중에서 기체분자의 여기, 이온화 등을 이용하는 게터 펌프.
증착 이온 펌프, evaporation ion pump
연속 또는 비연속적인 승화,증발에 의해 게터면을 갱신하는 이온 펌프.
스퍼터 이온 펌프, sputter ion pump
음극 스퍼터링에 의해 게터면을 갱신하는 게터 이온 펌프.
크라이오 펌프, cryopump
기체분자를 극저온면에 응축 또는 수착 시켜서 포착하는 기체 저장식 진공펌프.
크라이오 솝션 펌프, cryosorption pump
수착을 주된 배기작용으로 하는 크라이오 펌프.
펌프 케이스(케이싱), pump case
펌프의 작동부분이 들어 있는 용기.
흡기 구, inlet
펌프의 기체 흡입 구.
배기 구, outlet
펌프의 기체 토출 구.
날개 판, 베인, blade, vane
용적 이동식 진공펌프에서 스테이터와 로터 사이의 공간을 구분하는 섭동 판.
방출 밸브, discharge valve
용적 이동식 진공펌프에서 압축된 기체를 방출시키기 위한 자동 밸브.
펌프 기름, vacuum pump oil
진공펌프에서 윤활, 냉각, 기밀 도는 무효공간의 감소를 위하여 사용하는 기름.
펌프 작동액, pump fluid
증기분사 진공펌프의 작동용 액체.
노즐, nozzle
증기분사 진공펌프에서 작동유체의 흐름을 정리하여 증기분류를 형성함으로써 배기작용을 얻기 위한 부품.
노즐의 목, nozzle throat
노즐의 최소 단면적 부분.
노즐의 틈새, nozzle clearance
노즐 주위 테두리와 펌프 케이스 내벽의 최소 간격.
노즐의 틈새 면적, nozzle clearance area
노즐 틈새의 면적.
증기 분류, jet
증기분사 진공펌프에서 노즐로부터 분사하는 작동 유체의 급격한 흐름.
디퓨저, diffuser
이젝터 진공펌프의 노즐 앞면에 배치되어 있는 원추모양의 수렴부 및 거기에 이어지는 목, 발산부 (벤투리)의 총칭.
디퓨저의 목, diffuser throat
디퓨저의 최소 단면적 부분.
증기 도관, 침니, vapour tube, vapour pipe
증기분사 진공펌프에서 증기를 보이러부터 노즐로 유도하는 도관.
노즐 어셈불리, nozzle assembly
증기분사 진공펌프에서 노즐과 증기도관으로 이루어진 부분.
트랩, trap
필요한 컨덕턴스를 확보하면서 바람직하지 않은 기체,증기의 분압을 물리적 또는 화학적 방법으로 감소시켜 그 흐름이나 이동을 감소시키기 위한 장치.
냉각 트랩, cold trap
냉각면에서의 응착작용을 이용하는 트랩.
수착 트랩, sorption trap
수착작용을 이용하는 트랩.
배플, baffle
증기분자 진공펌프의 흡기구 및 배기구에 부착되어 작동액 증기의 역류 및 유출을 막기 위한 차폐 판.
기름 분리기, oil separator
진공펌프의 배기구에서 기체와 함께 수송되는 펌프 기름의 손실을 감소시키기 위한 장치.
기름 순화기, oil purifier
펌프 기름에서 여러가지 오염물질을 제거하기 위한 장치.
주 펌프, main pump
진공계를 작동압력까지 배기하고 그 압력을 유지하기 위한 진공펌프.
보조 펌프, backing vacuum pump
다른 펌프의 압력을 임계치 이하로 유지하기 위한 진공펌프.
러핑 진공펌프, roughing vacuum pump
대기압에서 주펌프가 작동해지는 압력까지 진공계를 배기하기 위한 進공펌프
배압 유지 펌프, holding vacuum pump
주펌프의 가스 부하가 작은 경우, 정규의 보조 펌프 대신에 주펌프의 배압을 유지하기 위하여 사용하는 보조 펌프.
고진공 펌프, high vacuum pump
고진공 영역에서 작동하는 진공펌프.
저진공 펌프, rough(or low) vacuum pump
저진공 영역에서 작동하는 진공펌프.
부스터(진공)펌프, booster vacuum pump
중간압력 영역에서의 배기량을 증가시키든가 또는 배기계 각 부의 단계적 압력분포를 개선하여 보조펌프에 대한 체적유량을 감소시키기 위하여 주펌프와 보조펌프 사이에서 사용하는 진공펌프.
고진공 유지펌프, appendage vacuum pump
배기된 용기내의 압력을 저압으로 유지하기 위하여 주펌프 대신에 사용되는 보조적인 진공펌프.
펌프의 배기량, throughput of a vacuum pump
펌프의 환기구를 통과하는 기체의 유량.
양기호: S, 단위기호: m3·s-1.
펌프의 배기속도, pumping speed
펌프의 체적유량, volume flow rate of a vacuum pump
펌프의 흡기구를 통과하는 기체의 체적유량.
양기호: S, 단위기호: m3·s-1.
흡입압, inlet pressure
펌프 흡기구에서의 압력.
최대 흡입압, maximum working pressure
증기분자 진공펌프가 정상적인 기능을 유지할 수 있는 흡입압의 최대치.
배압, backing pressure
기체를 대기압 이하의 압력 공간으로 배출할 경우 진공펌프 배기구에서의 압력.
양기호: Pb,:, 단위기호: Pa .
임계 배압, critical backing pressure
증기분사 또는 증기분류 진공펌프가 정상적인 기능을 유지할 수 있는 최대의 배압.
양기호: Pbc, 단위기호: Pa .
비고 펌프의 배기량에 관계하는 값.
시동 압력, starting pressure
진공펌프가 손상되지 않고 시동되며 또한 정상적인 배기작용을 얻을 수 있는 압력.
도달 압력, ultimate pressure of a pump
기체를 도입하지 않고 펌프를 장시간 작동시켜 압력의 감소를 거의 무시할 수 있게 되였을 때의 압력.
양기호: Pu, 단위기호: Pa .
압축비, compression ratio
펌프에 기체를 유입했을 때의 배압 증가 분을 흡입압의 증가 분으로 나눈 값.
역확산, back diffusion of gas
진공펌프의 작동상태에서 펌프의 배기구에서 환기구로 향하는 기체의 이동.
역류, back streaming
진공펌프의 흡기구를 통하여 고진공 쪽으로 향하는 펌프 작동액 증기 또는 펌프기름 증기의 이동
역이동, back migration
진공펌프의 작동액 분자가 용기의 벽면상에서의 재증발 및 표면확산에 의하여 고진공 쪽으로 이동하는 형상.
