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피라니 게이지(Pirani Gauge)

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피라니 게이지(Pirani Gauge)

 

  • 러프한 진공에서 사용
  • 필라멘트의 저항변화를 측정하여 압력으로 변환
  • 가열된 필라멘트와 많은 분자들이 충돌하며, 분자는 필라멘트로 부터 열을 빼앗는데 이 필라멘트의 저항변화로 인한 브릿지 회로의 불균형이 일어나며 이로 인한 전류 출력 값의 변화를 압력으로 표시한다.
  • 기체의 열전도가 기체의 종류에 따라 달라지므로 기체에 따라 측정값이 달라진다.

 

 

진공도에 따른 진공게이지(Vacuum gauge) 구분은 여기있음.

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