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스피닝 로터 게이지 (Spinning Rotor Gauge)
- 고진공 에서사용 (10^-2 torr – 10^-7 torr)
- +/- 1% 이상의 오차를 가짐
- 스테인레스스틸 볼, CF35 플렌지,두개의 영구자석, Pick up 코일, Stabilization Coil 로 구성
- 진공중에서 자유로이 회전하는 금속볼이 기체와의 마찰로 인해 감속된다.
- 이 볼 속도 감소율을 정확히 측정한 후 그 결과를 압력으로 계산.
- 안전성과 재연성이 뛰어나며 가스의 종류에 영향을 받지 않음
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