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잔류기체 분석기 (Residual Gas Analyzer)
- 분압을 측정하며 고진공 및 초 고진공에서 작동
- 기체의 부분압을 합하면 총 압력도 측정가능
- Ion source, mass filter, detector 로 구성
- 필라멘트 가열로 생성된 열전자는 가속되어 모여져 이온 생성기를 통과하게 되며 거기서 모든 종류의 분자들을 이온화 한다. 이렇게 생성된 이온들은 가속되어 mass filter에 모이게 되며 정확한 질량 대 전하비를 가진 이온들은 mass filter 를 통과하여 컬렉터로 가며 이온들은 필터를 동과하는 기체에 비례하는 신호를 만들어 낸다.
- Leak check 및 반도체 공정시 gas monitoring용으로 사용.
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