O-ring
관련 정보는 이미 인터넷상에 무수히 존재함.
현업에 종사하는 사람들이 만들어놓은 자료, 학교, 등등..
그중에서 가장 정확하고 쓸만한 자료는 역시, 기업 즉 O-ring Maker 에서 제공하는 정보.
아래 첨부되어 있는 자료는 미국의 Greentweed 에서 제공하는 자료일것이다.
GT Korea Semicon Presentation.pdf
상기 문서는 아래와 같은 내용을 포함하고 있고, 이 정도면 O-ring 을 적용 및 구매하는데
충분하고 사실 이만큼 충실한 자료는 찾아보기 어렵다고 생각한다.
그린트위드회사소개
(Greene, Tweed & Co.)1863년도에설립된그린트위드는전세계에약1,200명의종업원이종사하고있으며여러산업계:반도체, 석유화학, 항공/방산, 건설기계, 석유시추및의료/생명공학의6개사업분야에서의다양한요구에부응하여개발된고성능의씰(Seal)과엔지니어링플라스틱(Engineered Plastics)을전문적으로생산/공급하는회사입니다.
반도체용 씰(Seal) 의 혁명
질소고무 질소고무/탄성체 탄성체: : Nitrile (Buna N, NBR) -55oC to 125oC
4구입용이성및저가격으로인하여초기에반도체용으로사용되었던석유(petroleum) 기반의탄성체
4 불소고무 불소고무/탄성체 탄성체: : Fluorocarbon elastomer (FKM) -29oC to 204oC
41950년대에개발되어Monomer의50%가불소인탄성체로서내화학성, 물성치및사용온도등이질소고무/탄성체에비하여개선된재질
4 과불소탄성체 과불소탄성체: : Perfluoroelastomer (FFKM, Chemraz®) -29oC to 300oC
4불소고무/탄성체에비하여내화학성및분진물발생등이월등히개선되어오늘날거의모든반도체장비에적용되고있는탄성체
씰(Seal)의기본개념
(1)씰(Seal)의역할
(2)성공적인씰(Seal) 설계요소
(3)씰화합물(Seal Compound)의종류
(4)글랜드(Gland) 종류
(5)글랜드(Gland) 형상
(6)O-Ring 및Gland Size 관련규격
(7)씰(Seal) 종류
(8)도브테일(Dovetail) 씰개발
(9)BSV(Bonded Slit Valve) 개발
(10)고객주문사양씰(Custom Seal): MSE Seal, etc.
(11)O-Ring 물성치용어및비교
(12)그린트위드설계개념(씰설계3대요소& FEA)
(1) 씰(Seal)의역할
씰(Seal)은글랜드(gland)에압축되어설치됩니다. 씰재질의탄성적인특성은씰과맞닳는면에일정한힘을주게됩니다.
씰은상대면에압력을가하여빈틈없는장벽을구축함으로써씰주위로가스나유체가새어나가는것을방지합니다.
씰의효율은상대면에가해지는힘, 표면조도, 및주어진기간동안가해지는하중의일정함에좌우됩니다.
(2) 성공적인씰(Seal) 설계3대요소
(3) 씰화합물(Seal Compound)의종류
질소질소((NitrileNitrile) ) 탄성체탄성체
: Buna N, NBR–온도: -55 oCto 125 oC4석유에매우뛰어난내성으로인하여가장보편적인탄성체였으나산과오존에매우열악한부합성을가지고있다. 초창기에질소탄성체가지닌적당한물성치, 구입용이성및저가격으로인하여반도체분야에서많이사용되었었다.
불소불소탄성체탄성체((FluoroelastomerFluoroelastomer)
: Viton, FKM–온도: -29 oCto 204 oC41950년대에소개되어질소탄성체보다더넓은범위의화학적부합성증가된서비스온도및뛰어난물성치를지니고있다.
44과불소과불소탄성체탄성체((PerfluoroelastomerPerfluoroelastomer)
: 켐라즈켐라즈((Chemraz®) , FFKM–온도: -29C to 324C4오늘날반도체장비의공정상에있어서불화탄성체보다개선된화학적부합성과극소의미립자발생으로서불소탄성체보다훨씬뛰어난성능을제공합니다. 플라즈마, 산및솔벤트등의화학적공격에아주뛰어난성능발휘
불소탄성체(Fluoroelastomers) 과불소탄성체(Perfluoroelastomers)
그린트위드켐라즈(Chemraz®)
4과불소탄성체고분자(Perfluoroelastomerpolymer)4켐라즈(Chemraz®)의기본고분자(polymer)는3개이상모노머(monomer)들의화합물이다.4A & B는물성치를증가시키기위한다른필러(filler)와큐러티브(curative)들이다.4모든과불소탄성체(perfluoroelastomer)들의성능은동일하지않다.
(4) 글랜드(Gland) 종류
(5) 글랜드(Gland) 형상
등 등 ..................
이 내용외에 훨씬 좋은 내용이 첨부파일에 포함되어 있다.
그리고 아래는 O-ring에 관련 내용이다.
1. 켐라즈 (Chemraz) O-ring Property (Greentweed)
