원자층 증착

웨이퍼 코팅용 ALD ? 

반도체 표면 위에 원자 두께의 얇은 막을 증착시키는 기술

기존 방식보다 얇고 균일한 코팅이 가능

일명 원자층 박막 증착장비

필름 형태의 박막을 원자나 분자 단위로 씌울 수 있음.

한 장비 내에서 열을 가하는 서멀과 플라즈마 이용 기술을 동시에 구현

 

ALD by 씨엔원