주성엔지니어링

1. 2021년 1월 11일 발표한 '소부장(소재·부품·장비) 으뜸기업' 22개에 선정

2. '세계최초 시공간분할 원자층증착(ALD) 장비' 기술 개발

3. 디스플레이 장비는 LCD(액정표시장치)가 아닌 OLED(유기발광다이오드) 공정에 주력

4. 태양광 장비는 현재 24% 수준에 머물러 있는 광변환효율(빛을 전기로 바꾸는 효율)을 35%까지 끌어올리기

위한 연구 진행중.

5. 기존 공간분할 방식에 시분할 기술을 결합한 '하이브리드형'인 시공간분할(TSD:Time Space Divided) ALD 를

고객사 Test 중 (2020년). 이르면 2021년부터 양산라인에 적용 예상.
6. D램 핵심 요소인 커패시터(전하 저장 유무에 따라 0과 1을 판별) 공정에서 사용

고유전율 특성을 가진 하이-K 재료를 증착하는 용도

시공간분할 ALD

ALD?

화학물질인 프리커서(전구체)와 특정 리액턴트(반응 물질)를 반복 주입.

웨이퍼에 화학반응을 일으켜 박막을 만드는 공법

웨이퍼 표면에만 반응이 일어나 막 두께를 줄이면서 정교한 박막제조 가능.

( 기존 화학장치공법(CVD)은 공정 중 챔버 진공 공간과 웨이퍼 모두에서 박막 생성)

시공간분할 기술은 박막 재료 분사에 시간 차이를 둘 수 있음. 이로 인해 더 정교한 박막 제조가 가능..

공정 미세화에 따라 반도체 제조에 필수. 디스플레이와 태양광 등으로 적용이 확대되는 추세
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소부장 으뜸기업

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