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스미토모화학
+2019년 일본 정부 수출 규제 이후, 현지화 생산
+전북 익산 소재 자회사, 동우화인켐 - EUV 포토레지스트 출하 시작
+2021 9월 100억 엔(약 954억 원) 한국에 투자,첨단 포토레지스트 설비 증설
+불화아르곤(ArF), 불화크립톤(KrF)용 포토레지스트 생산 라인 구축
*EUV 포토레지스트
-노광 공정
-포토레지스트를 웨이퍼에 도포시, EUV 빛이 닿은 부분 반응, 회로 모양으로 변하는 원리
-일본 업체들, 세계 시장 90% 점유
도쿄오카공업(TOK)
+인천 송도공장, EUV 포토레지스트 생산
+범용인 ArF·KrF 포토레지스트 생산 시작
신에쓰화학
+TOK 송도 공장, 주문자상표부착생산(OEM) 검토
듀폰
+EUV 포토레지스트 생산 인프라 구축 및 삼성전자와 공급 여부 논의
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