프리커서(Precursor)

프리커서(Precursor) ?
: 우리말로 전구체, 반도체 소자 제조 공정 중 박막 증착 용도로 사용되는 물질
: 화학적인 관점에서 유기금속 화합물로 분류

*' 박막 증착’ ?
: "반도체 제조 공정"을 집 짓는 과정과 비유
: 집짓는 과정
::   설계 > 지반공사>-  집의 구조 쌓아 올림 (=박막증착, 프리커서는 그 쌓아 올리는 재료)


프리커서 분류
+  low-k(저유전율) : k값=4 기준,  k값 4 이하 물질
+  high-k(고유전율) :  k값=4 기준,  k값 4 이상 물질

** k값
: 물질의 전하를 저장 정도를 의미
: k값 수치가 높을수록 더 많은 전하 저장

*** DRAM Case
> Capacitor :  high-k 물질 사용
> 배선 사이의 절연막 증착
: low-k 물질 사용
: 배선과 배선 사이에 위치되는 절연막의 경우 그 자체가 capacitor와 같은 현상을 유발 >> 배선에서의 전하 이동 속도를 저하

* Capacitor ?
: 전기 저장 소자 (축전기)
: 배터리 대비 작은 전기 용량 > 충방전 시간 짧음 >>  전기적 신호 전달 및 데이터 저장 용도로 사용