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Manufacturing

STI (Shallow Trench Isolation)

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STI (Shallow Trench Isolation) 기술


1. 반도체 제조 과정에서 인접한 소자들 간의 간섭을 줄이기 위해 사용되는 기술

2. 표면에 얕은 구멍(트렌치)을 만들고 그 안에 절연 재료를 넣어 전자를 분리하는 기술

3.  "얕은"은 트렌치의 깊이를 의미하는 것이 아니라 표면에 비교적 얕은 부분에 위치한다는 의미.
즉,  "얕은"은 표면에 가까운 것을 나타냄

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