피에스케이와 램리서치간 특허 소송 최종심

피에스케이 (PSK) 와 램리서치간 특허 소송 최종심

1. 베벨에처 관련 특허

2. 피에스케이 일부 승소

3. 피에스케이 2건 승소 / 1건 패소

3.1. 피에스케이 승소 소송 2건

3.1.1. 2023후11500(2심:2022허6570)

3.1.2. 2023후11197(2심:2022허4994)  

3.1.3. 심리불속행기각



3.2. 피에스케이 패소 소송

3.2.1.2023후11425(2심:2022허6587)

3.2.2. 심리불속행기각

4. 잔여 특허 소송 : 3건. 판결결과는 2024년 중 결론 예정

5. 램리서치 베벨 에처

5.1. 최초 국내 기업 소슬이 관련 특허 보유
5.2. 참엔지니어링의 소슬 인수,
5.3. 램리서치의 참엔지니어링 베벨 에처 사업 인수후, 5.4. 램리서치가 최종 보유


6. 피에스케이 베벨 에처

6.1. 지난 2021년 엣지 클린(베벨 에처) 장비 개발 성공


7. 소송 발생: 2021년


* 심리불속행기각
: 대법원이 상고 기각 및 원심을 그대로 확정

* 베벨 에처
: 웨이퍼 가장자리(베벨)에 형성된 금속, 비금속막을 제거하는 데 사용되는 장비, 피에스케이가 베벨 에처 개발하기 전까지 램리서치가 독점.

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