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하프늄 옥사이드
1. 하프늄옥사이드
: 수 nm에서도 강유전성이 큰 특성
1.1. 다른 대부분 물질은 50nm에서 급격히 강유전성 감소
1.2. 하프늄옥사이드의 강유전성 증가에는 복잡한 후처리 과정 (전기장을 여러 회 가하는 등) 필요.
1.3. 후처리 과정의 각 공정 조건에 따라 강유전성에 큰 차이발생, 이로인해 실제 공정에 적용하기 난해.
2. 이온빔 이용, 하프늄옥사이드 강유전성 향상 방법 개발
2.1. 이온빔을 하프늄옥사이드에 적용 시 강유전성이 3배 이상 증가. 하프늄옥사이드의 산소 결함 밀도와 연계된 결정구조 변화가 강유전성을 증가시킴.
2.2. 하프늄옥사이드의 강유전성은 산화물 재료 결정구조에서 산소 원자가 빠진 자리를 뜻하는 ‘산소 공공’과 연관. 하프늄옥사이드에 이온빔을 쏘는 것만으로 산소 공공의 양이 조절되는 현상을 확인.
* 강유전성
: 자기장과 같은 외부 요인으로 물체 일부가 양극이나 음극을 띤 후 성질을 계속 유지하게 되는 특성.
강유전성이 큰 반도체 소재의 경우 메모리에서 데이터를 저장하는 기본구조인 0과 1의 차이가 크기 때문에, 저장된 데이터를 보다 정확하게 읽을 수 있게됨
강유전성 물질 적용시 나노미터(nm·10억 분의 1m) 막에서 반도체 성능을 구현 가능
하프늄 옥사이드
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