서플러스글로벌 특허

1. ​특허 등록 성과

- ​반도체 제조 공정의 핵심인 ALD(원자층 증착) 기술 및 웨이퍼 이송·로딩 관련 국내 특허 3건 등록 완료

- ​중고 반도체 장비 거래를 넘어 장비의 성능을 높이는 '장비 업사이클링' 기술 역량 강화


2. ​등록 특허별 주요 내용 및 효과

2.1. ​ALD 반응기용 실링시스템 및 실링 해제 방법

- ​반응기 내부 압력을 정밀하게 관리하여 공정 신뢰성 향상

- ​장비 유지보수 및 재가동 시 발생할 수 있는 위험을 줄여 기존 장비의 재사용성 유도

2.2. ​ALD 밸브 모니터링 방법 및 시스템

- ​AI(인공지능) 기반으로 핵심 부품인 밸브 상태를 실시간 분석

- ​이상 징후를 조기에 감지하고 미래 상태를 예측하여 장비 수명 연장 및 예방정비 지원

2.3. ​웨이퍼 이송기 감지장치 및 웨이퍼 로딩 시스템

- ​비전 센서(카메라 변환 장치)를 활용해 웨이퍼의 위치와 정렬 상태를 실시간 감지

- ​정렬 불량을 조기에 확인하여 장비 재가동 시 생산성과 품질 안정성 확보


3. ​기업의 의의 및 향후 방향

- ​중고 장비 단순 재판매 기업에서 장비를 진단·개선하는 업사이클링 전문 기업으로 진화

- ​장비 거래 사업과 공정 기술 역량을 동시에 강화하여 반도체 산업 생태계 기여


​* 용어

​ALD(Atomic Layer Deposition, 원자층 증착)
: 반도체 웨이퍼 표면에 원자 두께만큼 아주 얇은 막을 한 층씩 쌓아 올리는 정밀한 박막 형성 기술입니다.

​웨이퍼
: 반도체 집적회로를 만들기 위한 실리콘 재질의 둥근 원판(기판)입니다.

​업사이클링
: 단순한 재활용을 넘어 장비의 상태를 진단하고 성능을 개선하여 제품의 가치를 더 높여 재사용하는 과정입니다.

​실링(Sealing)
: 기체나 액체가 밖으로 새어 나가지 않도록 틈새를 꽉 막아 밀봉하는 기술입니다.

​비전 센서
: 카메라로 촬영한 이미지를 분석하여 제품의 위치나 형태, 불량 여부를 자동으로 판단하는 센서입니다.