어플라이드머티리얼, KLA, 램리서치

어플라이드머티리얼

+ 세계 1위 반도체 장비업체
+ 제품 포트폴리오 다양하지만 증착 장비가 주력
+ 한국법인 강화 추세
+ 2021 년 (200명 내외) 대비,  1.5배 많은 300여명  인력 2022년 채용 계획.
+ 국내 R&D 센터 구축계획
+ 부지 선정 작업 마무리 단계


* 증착
: 1마이크로미터(㎛) 이하의 박막을 웨이퍼 위에 입히는 공정
여러 종류의 증착중 CVD 대세.

** CVD
: 가스 화학 반응으로 형성된 입자를 외부 에너지가 부여된 수증기 형태로 증착하는 방식




램리서치


+ 식각 장비 주력 기업
+ 증착 장비 중에서는 원자층증착(ALD) 장비 주력.
+ 용인에 코리아테크놀로지 센터 개관
+ 경기 화성 신공장을 가동
+ 국내 생산법인 램리서치매뉴팩춰링코리아를 통해 현지 양산 체제 구축

* 식각
: 노광공정 후 회로 패턴 제외한 나머지 부분 제거공정

** 건식 식각 : 반응성 기체, 이온 등을 이용
** 습식 식각 : 용액에 의한 화학적인 반응 이용

* ALD
: 분자보다 작은 원자 물질 쌓는 증착 기술
박막 두께가 조절 및 우수한 흡착력 등이 장점



KLA

+ 반도체 계측 장비
+ 반도체 미세화 될수록 계측 중요성 높아짐.

* 계측
: 주요 공정 완료 웨이퍼 측정 및 검사.  
웨이퍼 표면 이물질 유/무 , 회로 균일성 등 측정 및 검사

** 계측 방식
- 브라이트필드(BF) : 수직으로 빛을 쏴 반사광 패턴 표면 측정 . 정확성 우수
- 다크필드(DF) : 비스듬하게 빛을 쏴 산란광 패턴 표면 측정. 빠른 속도