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Thermocouple (열전대-熱電對) Thermocouple (열전대-熱電對) 두 개의 서로 다른 금속을 고리모양으로 붙여놓은 것으로, 제베크효과에 의한 열기전력을 얻기 위해 2종류의 금속이나 반도체의 양끝을 연결하여 만든 폐회로를 의미한다. 2개의 접합점이 같은 온도일 때는 전류가 흐르지 않지만, 온도가 다르면 열전기 현상에 의해 회로에 전류가 흐른다. 예를 들면 구리와 콘스탄탄(구리 60%, 니켈 40%인 합금)의 열전기쌍의 경우, 한쪽 접합점을 0℃, 다른 쪽을 100℃로 유지하면 열전류는 100℃의 접합점을 통하여 구리 쪽으로 흐르는데, 이때 열기전력은 4.24㎷이다. 접합점의 온도를 각각 일정하게 유지하면서 회로의 중간을 잘라 제3의 금속을 이어도 양쪽 이음점의 온도를 같게 하면, 열기전력은 변하지 않는다. 이런 현상을 이용하면 열..
측온저항체 (RTD ; resistance thermometer device) RTD (Resistance Thermometer Device) 온도 측정 장치의 하나로 온도에 따른 금속의 전기 저항의 변화를 측정함으로써 온도를 측정하는 장치이다. 측온 저항체는 다른 형태들에비해 호환성, 안정성, 감도,선형성 그리고 사용 가능한 온도 범위가 넓지만 소형화가 어렵고 기계적 충격이나 진동에 약하며 고가라는 단점을 가지고있다. 특히 Pt-RTD는 저항의 온도계수가 크고 직선성이 우수하며 넓은 온도 범위에서 안정하기 때문에 백금 코일을 이용한 운모형,세라믹형,유리형 등이 실용화되고 있지만, 고순도의 백금 코일을 이용하기 때문에 기계적 특성이 나쁘며, 코일 제작 및 몰딩에 많은 시간이 소용되고, 소형화가 불가능하며 고가인 단점을 가지고 있다. 금속선의 온도가 올라가면 저항이 증가하는 성질을 ..
산업용 온도계의 종류와 원리. 온도계의 유래 온도에 따라서 액체의 팽창 ·수축을 이용한 것 외에 공업방면에서는 측정원리가 다른 여러 온도계가 사용된다. 17세기 초엽 해부학 교수인 S.카데미아-델-치멘트의 학자들이 스승 G.갈릴레이의 공기온도계를 개량해서 만든 일종의 알코올온도계가 시초이다. 온도계의 종류 많은 종류가 있는데 어느 것이나 물체의 물리적 상태가 온도의 변화에 따라 연속적으로 변하는 것을 이용한다. ⑴ 역학적 온도계: 물체의 열역학적 성질, 특히 열팽창이나 온도에 따른 압력변화를 측정해서 그 물체에 접촉하는 물체의 온도를 판정하는 것. 팽창식 ·압력식 온도계라고도 한다. 수은온도계 ·알코올온도계 등 액체온도계가 대표적이며, 그 밖에 바이메탈을 이용한 금속온도계 기체온도계 등도 있다. 또 압력식 온도계는 일정한 부피의 그릇..
마그넷 컨베이어 (Magnet Conveyor) Magnet Conveyor 의 구동원리 자력의 흡인과 반발을 이용한 원리를 이용해서 반송LOLLER를 회전 시킵니다。 이렇게 함으로서 종래의 BELT 방식에 비하여 、보다 효율적이고 LOSS가 없는 구동을 실현 시킵니다。 LESS BEAR TORQUE 전달부의 확대사진 회색부분의 자력에 의해 비잡촉으로 LOLLER를 구동시킵니다 Magnet Conveyor 의 특징 LOLLER에의 전달이 비접촉이기 때문에 환(丸)BELT・평BELT・CHAIN 등의 끊어짐 마모、분진이 없고 MAINTERANCE FREE를 실현 LOLLER에의 전달이 BELT,CHAIN,GEAR 등을 회피하여 비접촉 구동으로 발진이 현저히 적어짐 환(丸)BELT ・CHAIN의 마모・분진・소음이 없는 「비접촉 구동」방식에 의해 고속대응이 ..
잔류기체 분석기 (Residual Gas Analyzer) 잔류기체 분석기 (Residual Gas Analyzer) 분압을 측정하며 고진공 및 초 고진공에서 작동 기체의 부분압을 합하면 총 압력도 측정가능 Ion source, mass filter, detector 로 구성 필라멘트 가열로 생성된 열전자는 가속되어 모여져 이온 생성기를 통과하게 되며 거기서 모든 종류의 분자들을 이온화 한다. 이렇게 생성된 이온들은 가속되어 mass filter에 모이게 되며 정확한 질량 대 전하비를 가진 이온들은 mass filter 를 통과하여 컬렉터로 가며 이온들은 필터를 동과하는 기체에 비례하는 신호를 만들어 낸다. Leak check 및 반도체 공정시 gas monitoring용으로 사용. 진공도에 따른 진공게이지(Vacuum gauge) 구분은 여기~!
스피닝 로터 게이지 (Spinning Rotor Gauge) 스피닝 로터 게이지 (Spinning Rotor Gauge) 고진공 에서사용 (10^-2 torr – 10^-7 torr) +/- 1% 이상의 오차를 가짐 스테인레스스틸 볼, CF35 플렌지,두개의 영구자석, Pick up 코일, Stabilization Coil 로 구성 진공중에서 자유로이 회전하는 금속볼이 기체와의 마찰로 인해 감속된다. 이 볼 속도 감소율을 정확히 측정한 후 그 결과를 압력으로 계산. 안전성과 재연성이 뛰어나며 가스의 종류에 영향을 받지 않음 진공도에 따른 진공게이지(Vacuum gauge) 구분은 여기있음.
냉음극 게이지 (Cold Cathode Gauge) 냉음극 게이지 (Cold Cathode Gauge) 고진공 및 초 고진공에서 사용 (10-2 torr – 10-12 torr) +/- 50% 이상의 오차를 가짐 하나의 게이지 튜브와 제어장치로 구성 게이지 튜브의 중심에 하나의 양극과 두개의 음극, 또는 원통형의 음극이 있고 주위에 강한 영구 자석으로 구성 2000 vdc 전압은 게이지 튜브에 있는 전자들을 양전하를 띤 양극쪽으로 끌리게 하는데, 자기장은 전자들을 나선형으로 진행케 한다. 이것은 이온을 만드는 전자와 분자의 충돌 가능성을 증가시킨다. 양전기를 띤 이온은 음극쪽으로 이끌리게 되며, 그 결과로 생긴 이온 전류의 흐름은 압력을 측정하는 공식에 적용된다. 필라멘트를 사용하지 않으므로 타지 않는 장점을 가진다. 진공도에 따른 진공게이지(Vacuum..
전리 게이지(Ionization Gauge) 전리 게이지(Ionization Gauge) 고진공 및 초 고진공에서 사용 (10-2 torr – 10-12 torr) +/- 30% 이상의 오차를 가짐 필라멘트,그리드,컬렉터로 구성 원자나 분자에 에너지를 가하면 전자를 잃고 전하를 띠게 되며, 이 전하를 띤 분자들이 다시 중성이 되기위해 전자를 얻을 때 압력이 측정 필라멘트에서 방출된 전자는 그리드쪽으로 끌리지만 대부분의 전자는 그리드와 충돌하지 못하고 그리드를 계속 회전한다. 회전하는 전자들은 기체분자와 충돌하여 기체분자를 이온화 시키면서 더 많은 전자가 생긴다. 양으로 이온화된 기체 분자들은 컬렉터로 끌리며 이것은 진공 용기내의 비례하여 이온전류를 생성. P=(1/S) x ip/ie( P=압력, S= 게이지 감도,ip는 양이온 전류, ie는 방출전..

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