DB (169) 썸네일형 리스트형 마그넷 컨베이어 (Magnet Conveyor) Magnet Conveyor 의 구동원리 자력의 흡인과 반발을 이용한 원리를 이용해서 반송LOLLER를 회전 시킵니다。 이렇게 함으로서 종래의 BELT 방식에 비하여 、보다 효율적이고 LOSS가 없는 구동을 실현 시킵니다。 LESS BEAR TORQUE 전달부의 확대사진 회색부분의 자력에 의해 비잡촉으로 LOLLER를 구동시킵니다 Magnet Conveyor 의 특징 LOLLER에의 전달이 비접촉이기 때문에 환(丸)BELT・평BELT・CHAIN 등의 끊어짐 마모、분진이 없고 MAINTERANCE FREE를 실현 LOLLER에의 전달이 BELT,CHAIN,GEAR 등을 회피하여 비접촉 구동으로 발진이 현저히 적어짐 환(丸)BELT ・CHAIN의 마모・분진・소음이 없는 「비접촉 구동」방식에 의해 고속대응이 .. 잔류기체 분석기 (Residual Gas Analyzer) 잔류기체 분석기 (Residual Gas Analyzer) 분압을 측정하며 고진공 및 초 고진공에서 작동 기체의 부분압을 합하면 총 압력도 측정가능 Ion source, mass filter, detector 로 구성 필라멘트 가열로 생성된 열전자는 가속되어 모여져 이온 생성기를 통과하게 되며 거기서 모든 종류의 분자들을 이온화 한다. 이렇게 생성된 이온들은 가속되어 mass filter에 모이게 되며 정확한 질량 대 전하비를 가진 이온들은 mass filter 를 통과하여 컬렉터로 가며 이온들은 필터를 동과하는 기체에 비례하는 신호를 만들어 낸다. Leak check 및 반도체 공정시 gas monitoring용으로 사용. 진공도에 따른 진공게이지(Vacuum gauge) 구분은 여기~! 스피닝 로터 게이지 (Spinning Rotor Gauge) 스피닝 로터 게이지 (Spinning Rotor Gauge) 고진공 에서사용 (10^-2 torr – 10^-7 torr) +/- 1% 이상의 오차를 가짐 스테인레스스틸 볼, CF35 플렌지,두개의 영구자석, Pick up 코일, Stabilization Coil 로 구성 진공중에서 자유로이 회전하는 금속볼이 기체와의 마찰로 인해 감속된다. 이 볼 속도 감소율을 정확히 측정한 후 그 결과를 압력으로 계산. 안전성과 재연성이 뛰어나며 가스의 종류에 영향을 받지 않음 진공도에 따른 진공게이지(Vacuum gauge) 구분은 여기있음. 냉음극 게이지 (Cold Cathode Gauge) 냉음극 게이지 (Cold Cathode Gauge) 고진공 및 초 고진공에서 사용 (10-2 torr – 10-12 torr) +/- 50% 이상의 오차를 가짐 하나의 게이지 튜브와 제어장치로 구성 게이지 튜브의 중심에 하나의 양극과 두개의 음극, 또는 원통형의 음극이 있고 주위에 강한 영구 자석으로 구성 2000 vdc 전압은 게이지 튜브에 있는 전자들을 양전하를 띤 양극쪽으로 끌리게 하는데, 자기장은 전자들을 나선형으로 진행케 한다. 이것은 이온을 만드는 전자와 분자의 충돌 가능성을 증가시킨다. 양전기를 띤 이온은 음극쪽으로 이끌리게 되며, 그 결과로 생긴 이온 전류의 흐름은 압력을 측정하는 공식에 적용된다. 필라멘트를 사용하지 않으므로 타지 않는 장점을 가진다. 진공도에 따른 진공게이지(Vacuum.. 전리 게이지(Ionization Gauge) 전리 게이지(Ionization Gauge) 고진공 및 초 고진공에서 사용 (10-2 torr – 10-12 torr) +/- 30% 이상의 오차를 가짐 필라멘트,그리드,컬렉터로 구성 원자나 분자에 에너지를 가하면 전자를 잃고 전하를 띠게 되며, 이 전하를 띤 분자들이 다시 중성이 되기위해 전자를 얻을 때 압력이 측정 필라멘트에서 방출된 전자는 그리드쪽으로 끌리지만 대부분의 전자는 그리드와 충돌하지 못하고 그리드를 계속 회전한다. 회전하는 전자들은 기체분자와 충돌하여 기체분자를 이온화 시키면서 더 많은 전자가 생긴다. 양으로 이온화된 기체 분자들은 컬렉터로 끌리며 이것은 진공 용기내의 비례하여 이온전류를 생성. P=(1/S) x ip/ie( P=압력, S= 게이지 감도,ip는 양이온 전류, ie는 방출전.. 피라니 게이지(Pirani Gauge) 피라니 게이지(Pirani Gauge) 러프한 진공에서 사용 필라멘트의 저항변화를 측정하여 압력으로 변환 가열된 필라멘트와 많은 분자들이 충돌하며, 분자는 필라멘트로 부터 열을 빼앗는데 이 필라멘트의 저항변화로 인한 브릿지 회로의 불균형이 일어나며 이로 인한 전류 출력 값의 변화를 압력으로 표시한다. 기체의 열전도가 기체의 종류에 따라 달라지므로 기체에 따라 측정값이 달라진다. 진공도에 따른 진공게이지(Vacuum gauge) 구분은 여기있음. 열전대 게이지 (Thermocouple Gauge) 열전대 게이지 (Thermocouple Gauge) 러프한 진공에서 사용 정확성은 높지 않으나 간단하며 광대역의 측정가능 온도를 측정하여 압력으로 변환 가열된 필라멘트와 많은 분자들이 충돌하며, 분자는 필라멘트로 부터 열을 빼앗는데 이 필라멘트의 온도를 측정하여 압력으로 표시한다. 복사를 통한 열손실이 너무 큰 경우 즉, 1 mtorr이하에서는 측정 불가능. 다른 게이지에 비해 응답속도가 느림(열 상승 및 열 하락의 시간이 필요) 진공도에 따른 진공게이지(Vacuum gauge) 구분은 여기있음. 커페시턴스 마노메터 (Capacitance Manometer) 커페시턴스 마노메터 (Capacitance Manometer) 러프한 진공에서 사용 게이지 모델에 따라 상대적인 압력 및 절대적인 압력 측정 가능 정밀도(+/- 1%) 및 재현성이 뛰어나서 표준게이지로 사용 얇은 박판에 압력이 가해지면 압력에 비례하여 횡경막이 움직이며, 이는 정전용량의 변화를 가져온다.이는 주파수를 압력으로 변환해주는 회로의 일부분을 변형시켜 압력으로 표시된다. 재료는 인코넬과 스텐인레스 강과 같은 재료로 구성 온도에 민감. 최대값 대비 3-4 제곱까지만 측정 가능 진공도에 따른 진공게이지(Vacuum gauge) 구분은 여기있음. 이전 1 ··· 17 18 19 20 21 22 다음
