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커페시턴스 마노메터 (Capacitance Manometer)
- 러프한 진공에서 사용
- 게이지 모델에 따라 상대적인
- 압력 및 절대적인 압력 측정 가능
- 정밀도(+/- 1%) 및 재현성이 뛰어나서 표준게이지로 사용
- 얇은 박판에 압력이 가해지면 압력에 비례하여 횡경막이 움직이며, 이는 정전용량의 변화를 가져온다.이는 주파수를 압력으로 변환해주는 회로의 일부분을 변형시켜 압력으로 표시된다.
- 재료는 인코넬과 스텐인레스 강과 같은 재료로 구성
- 온도에 민감.
- 최대값 대비 3-4 제곱까지만 측정 가능
진공도에 따른 진공게이지(Vacuum gauge) 구분은 여기있음.
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