반응형
열전대 게이지 (Thermocouple Gauge)
- 러프한 진공에서 사용
- 정확성은 높지 않으나 간단하며 광대역의 측정가능
- 온도를 측정하여 압력으로 변환
- 가열된 필라멘트와 많은 분자들이 충돌하며, 분자는 필라멘트로 부터 열을 빼앗는데 이 필라멘트의 온도를 측정하여 압력으로 표시한다.
- 복사를 통한 열손실이 너무 큰 경우 즉, 1 mtorr이하에서는 측정 불가능.
- 다른 게이지에 비해 응답속도가 느림(열 상승 및 열 하락의 시간이 필요)
진공도에 따른 진공게이지(Vacuum gauge) 구분은 여기있음.
반응형
