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전리 게이지(Ionization Gauge)
- 고진공 및 초 고진공에서 사용 (10-2 torr – 10-12 torr)
- +/- 30% 이상의 오차를 가짐
- 필라멘트,그리드,컬렉터로 구성
- 원자나 분자에 에너지를 가하면 전자를 잃고 전하를 띠게 되며, 이 전하를 띤 분자들이 다시 중성이 되기위해 전자를 얻을 때 압력이 측정
- 필라멘트에서 방출된 전자는 그리드쪽으로 끌리지만 대부분의 전자는 그리드와 충돌하지 못하고 그리드를 계속 회전한다. 회전하는 전자들은 기체분자와 충돌하여 기체분자를 이온화 시키면서 더 많은 전자가 생긴다. 양으로 이온화된 기체 분자들은 컬렉터로 끌리며 이것은 진공 용기내의 비례하여 이온전류를 생성.
- P=(1/S) x ip/ie( P=압력, S= 게이지 감도,ip는 양이온 전류, ie는 방출전류)
- Ie는 일정(레이쇼메틱)
진공도에 따른 진공게이지(Vacuum gauge) 구분은 여기있음.
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