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반도체를 만드는 기계.
하늘색 이랑 흰색커버 조합....말랑말랑 말랑카우
원익IPS의 주력 반도체 장비는 '제미니(GEMINI)' 플라즈마화학기상증착(PECVD) 시스템이다.
반사방지막(anti-reflective coating)과 하드마스크(hardmask) 절연막(dielectric)을 증착하는데 쓰인다.
반도체 고객사에서는 20nm 이하 D램공정과 로직 디바이스 생산용 더블 패터닝(DPT), 쿼드패터닝(QPT)
하드마스크 공정에 제미니 PECVD 장비를 쓰고 있다.
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