ACM리서치 - LPCVD

ACM 리서치社 - LPCVD

 

반도체를 만드는 기계.

반도체는 미래의 쌀이라고 했다.

즉, 이 기계는 쌀을 만드는 기계다.

 

300㎜ 웨이퍼로 미래의 쌀을 만든다.

최대 100장 처리하는 배치 타입이라고 한다.
무슨 말인지는 모르겠다.

 

저압 플라즈마 화학기상증착(LPCVD) 용도의 기계.

하지만, 산화 공정과 열처리(Annealing) 공정,

원자층증착(ALD) 공정에도 사용가능 하다고 한다.

정확한 의미는 모르겠다.

하지만 다양한 종류의 쌀을 만들수 있다는 뜻인듯 하다.