기체의 표준상태, standard reference conditions for gases
기체론에서 기체의 표준조건을 주는 것으로서 온도 0℃, 압력 101325 Pa (1 기압=760mmHg )의 상태.
진공, vacuum
통상의 대기압보다 낮은 압력의 기체로 채워진 공간 내의 상태.
저진공, low ( rough ) vacuum
압력 100Pa이상인 진공
중진공, medium vacuum
압력 100 ∼ 0.1 Pa인 진공
고진공, high vacuum
압력 0.1 ∼ 10 –5 Pa인 진공
초고진공, ultra high vacuum ( UHV )
압력 10 –5∼ 10 –8 Pa 인 진공
극고진공, extreme ultrahigh vacuum ( XHV )
압력 10 –8 Pa이하인 진공
압력, pressure
공간 내의 어떤 점을 포함하는 가상의 극히 작은 평면을 양쪽 방향에서 통과하는 분자에 의해 단위 면적당, 단위시간에 수송되는 운동량의 면에 수직인 성분의 총합. 공간 내에 정상적인 기체의 흐름이 있을 때는 흐름 방향에 대하여 면의 기울기를 규정한다. 양기호: p , P, 단위기호 Pa.
파스칼 pascal
국제 단위계의 압력단위 명칭.
기호 Pa, 1 Pa = 1 N·m- 2
토르, Torr
1 표준기압(101325 Pa )의 760 분의 1
1 Torr = 133.322 Pa
부분압, partial pressure
혼합기체 중의 특정 성분의 압력.
양기호:성분 i에 관하여는 pi, 단위기호: Pa.
전체압, total pressure
전압 라고도 함. 혼합기체 중 전체 성분 분압의
총합. 양기호: p, P, 단위기호 Pa.
기체, gas
겉보기 상, 분자가 분자 사이의 힘에 의하여 운동 의 제한을 받지 않고 공간을 자유롭게 채울 수 있는 상태에 있는 물질.
비고: 진공기술, 진공공업에서는 기체라는 말은 비 응축성 기체 및 증기의 양쪽을 나타낸다.
비응축성 기체, non- condensable gas
온도가 그 물질의 임계온도 이상이 되어 있고 압력 의 증가만으로는 응축상으로 변화시킬 수 없는 기체.
증기, vapour, vapor (USA)
온도가 그 물질이의 임계온도 이하로 되어 있고 압력의 증가만으로 응축상으로 변화시킬 수 있는 기체.
포화 증기압, saturation vapour pressure
그 온도에서 응축성과 열역학적 평행에 도달되어 있는 증기가 나타내는 압력. 양기호 PL, 단위기호 Pa.
포화도, degree of saturation
어떤 온도에서 증기의 압력과 그 포화 증기압의 비,
포화 증기, saturated vapour
어떤 온도에서 포화 증기압과 같은 압력을 나타내는 증기.,
불포화 증기, unsaturated vapour
어떤 온도에서 포화 증기압보다 낮은 압력을 나타내는 증기.
기체분자 밀도, number density of molecules
기체분자의 단위 체적당 수. 양가호:n, 단위기호m-3.
평균 자유행정, mean free path
기체(일반적으로는 입자의 집합계) 속을 자유롭게 움직이며 돌아다니는 입자(분자, 원자, 전자, 이온, 중성자, 등)가 동종 또는 이종입자와 차례로 충돌하는 경우, 계속하여 충돌하는 사이에 입자가 비행한 거리의 평균. 양기호: λ,l, 단위기호: m.
충돌빈도, collision rate
기체 속을 자유롭게 움직이며 돌아다니는 입자가 단위 시간에 받는 충돌의 평균 횟 수.
양기호: φ, 단위기호: s-1.
체적 충돌빈도, volume collision rate
기체 속에서 일어나는 입자간 충돌의 단위시간, 단위 체적당 평균 횟 수. 양기호: χ, 단위기호: m-3×s-1.
pV 값, quantity of gas
기체의 체적과 압력의 곱. 단위기호: Pa×m3.
확산, diffusion
기체가 매질 중에서 농도 구배에 따라 이동하는 것.
비고 매질은 다른 기체( 이 경우를 상호확산 이라 한다 ) 또는 웅축상 이다.
확산 계수, diffusion coefficient, diffusivity
확산의 분자유량 밀도를 밀도의 구배로 나눈 값.
양기호: D, 단위기호: m2×s-1.
점성류, viscous flow
기체분자의 평균 자유행정이 도관의 치수보다도 충분히 작을 경우에 일어나는 도관 내의 흐름.
비고 흐름은 기체의 점성에 의존하여 층류 또는 난류로 된다.
푸아즈이유의 흐름, Poissuille flpw
원형 단면의 도관을 통과하는 정성 층류(레이놀즈수사 작은 경우).
레이놀즈, Reynolds number
흐름의 특성을 표시하는 무차원량의 하나로서, 흐름을 특징지우는 대표적인 길이(보기를 들면, 관의 지름) 흐름의 속도, 기체의 밀도, 기체 정도의 함수.
분자류, molecular flow
기체분자의 평균 자유행정이 도관 단면의 최대치수보다도 충분히 큰 경우(크누센수가 큰 경우)의 도관 내 기체의 흐름.
크누센 수, Knudsen number
흐름의 특성을 표시하는 무차원량의 하나로서, 흐름을 특징지우는 대표적인 길이(보기를 들면, 관의 지름)에 대한 분자의 평균 자유행정의 비.
중간류, intermediate flow
정성층류와 분자류의 증간 조건 하에 있는 도관 내의 기체의 흐름.
분자 분류, molecular effusion
두께를 무시할 수 있는 오리피스에서 기체 분자의 평균 자유행정이 오리피스 개구의 최대 치수보다 충분히 큰 경우의 기체의 흐름.
열천이, 서멀 트랜스피레이션, thermal transpiration
온도가 다른 2개의 용기가 도관으로 연결되어 있는 경우 분자류 영역에서 압력차가 생기는 형상.
분자유량, 분자속, molecule flow rate, molecule flux
공간 내의 어떤 면을 단위시간에 통과하는 기체분자 의 순수 수. 양기호: qN, 단의기호:s-1.
분자유량 밀도, molecule flow rate density
단위 면적당 분자 유량. 단위기호: m-2·s-1.
(기체의) 유량, throughput
도관의 어느 단면 또는 오리피스를 단위시간에 통과하는 pV 값. 양기호: Q, 단위기호: Pa·m3·s-1.
질량 유량, mass flow rate
공간 내의 어떤 면을 단위시간에 통과하는 기체의 질량. 양기호: Qm, 단위기호: kg·s-1.
체적 유량, volume flow rate
공간 내의 어떤 면을 단위시간에 통과하는 기체의 체적. 양기호: Qv, 단위기호: m3·s-1.
몰 유량, molar flow rate
공간 내의 어떤 면을 단위시간에 통과하는 기체의 몰수. 양기호: Qυ, 단위기호: mol··s-1.
맥스웰의 속도분포, Maxwellian velocity distribution
어떤 온도에서 열 평형에 있는 기체를 구성하는 분자의 속도분포.
통과확률, 클라우징 계수, transmission probability, Clausing factor.
도관 입구에 입사한 분자가 출구를 통과하는 확률.
컨덕턴스, conductance
유량을 오리피스의 양쪽, 도관등의2개 단면에서의 압력차로 나눈 양. 이 때, 등온조건을 가정하고 있다.
양기호: C, U, G, 단위기호: m3·s-1.
흡수, absorption
기체 또는 증기분자가 고체 또는 액체의 내부에 들어가는 형상. 여기서 기체 또는 증기분자를 흡수질, (absorbate), 고체 또는 액체를 흡수매(absorbent)라 한다.
흡착, adsorption
기체 또는 증기분자(흡착질)가 고체 또는 액체 (흡착매) 펴면에 머물고 있는 형상.
물리 흡착, physical adsorption, physisorption
화학결합을 수반하지 않은 물리적인 힘에 의한 흡착.
화학물리 흡착, chemical adsorption, chemisorption
화학결합을 수반하는 흡착.
수착, sorption
고체 또는 액체(수착매)에 의한 기체 또는 분자(수착질)의 취입. 흡착 및 흡수의 2개 현상을 포함하고 있다.,
열적응 계수, accommodation coefficient
입사입자와 표면 사이의 열에너지 주고 받음 정도를 나타내는 계수. 실제로 주고 받는 평균 에너지와 입사입자가 표면과 열평형에 도달하여 표면에서 공간으로 되돌아온다고 가정한 경우에 주고 받게 되는 평균
에너지의 비. 양기호: α.
입사빈도, impingement rate
표면의 단위 면적 당 단위시간에 입사하는 분자의 수.
양기호: υ,Γ, 단위기호: m-2·s-1.
입사속도, impingement rate
표면의 단위 면적 당 단위시간에 입사하는 물질의 양.
응축속도, condensation rate
표면의 단위면적당 단위시간에 응축하는 분자의 수,또는 물질의 양.
응축계수, condensation coefficient
응축속도와 입사빈도 또는 입사속도의 비. 무차원량이다.
양기호: c.
부착속도, sticking rate
표면의 단위면적당 단위시간에 화학흡착되는 분자의 수 또는 물질의 양.
부착확률, sticking probability .
부착속도와 입사빈도 또는 입사속도와의 비. 무차원 량이다.
양기호: s.
(평균 )체류시간, (평균 )체류시간, residence time.
분자가 표면에 흡착상태에서 속박되어 있는 시간의 평균.
양기호: τ, 단위기호: s.
표면 이동, migration
표면상에서 분자의 이동.
이탈, desorption
수착되여 있던 기체 또는 증기분자의 방출.
기체 방출, outgassing
물질로부터의 기체의 방출.
탈 가스, degassing.
인위적인 조작에 의한 물질로부터의 기체의 방출.
증발속도, evaporation rate
표면의 단위명적에서 단위시간에 증발하는 분자의 수 또는 물질의 양.
기체방출 속도, outgassing or desorption or degassing rate
물질의 단위 표명적에서 단위시간에 방출되는 pV값 또는 분자의 수. 양기호: qd, 단위 기호: pa·m·s-1, m-2·s-1.
투과, permeation
기체가 흡착,용해,확산,이탈 등에 근거하여 고체 내를 통과하는 현상
