진공 용어 (Vacuum Vocabulary) - 2

진공 펌프, vacuum pump

진공을 만들거나 또는 유지하기 위한 기기.

 

용적 이송식 진공펌프, positive displacement pump

피스톤,로터,날개판,밸브 등의 기계적 부분에 의해 분리된 공간에 짜넣어진 기체를 이 계의 주기운동에 따라 수송하는 펌프. 대부분의 펌프는 기체의 압축과정을 가진다.

비고 용적 이송식 펌프는 왕복 운동식 및 회전식의 2가지로 대변한다.

 

피스톤 진공펌프, piston vacuum pump

실린더 내에서의 피스톤 왕복운동에 의해 기체수송을하는 용적 이송식 진공펌프.

 

액밀봉 진공펌프, liquid ring vacuum pump

다수의 날개를 가진 편심 로터의 회전에 의해 액체를스테이터 내벽에 늘어서 실을 하여 기체를 수송하는

용적 이송식 진공펌프.

 

기름회전(진공)펌프, oil-sealed rotary vacuum pump

기름에 의해 로터, 스테이터, 날개판 등의 부품 사이의 기밀 및 무효 공간의 감소를 꾀하는 용적 이송식 진공펌프.

 

회전 날개형 기름회전펌프, sliding vane rotary vacuum pump

용수철로 항상 스테이터를 누르고 있는 2매 또는 그이상의 날개판을 가진 로터의 회전에 의해 날개판, 로터 및 스테이터로 둘러 싸인 공간의 용적을 변화시켜서 기체를 수송하는 용적 이송식 진공펌프.

 

회전 날개형 기름 회전펌프의 원리도

 

①스테이터, ② 로터, ③ 날개판, ④ 스프링 ⑤ 밸브

 

캠형 기름회전(진공)펌프, rotary piston vacuum pump

편심 로터(캠)가 스테이터에 붙어 있는 섭동 날개판에 의해 늘려지면서 회전하고 날개판, 로터 및 스테이터로 둘러싸인 공간의 용적을 변화시켜서 기체를 수송하는 용적 이송식 진공펌프.

 

캠형 기름 회전펌프의 원리도

 

①스테이터, ② 편심 로터(캠), ③ 섭동날개판 ④스프링, ⑤ 밸브

 

 

요동피스톤형 기름회전펌프, rotary plunger vacuum pump

스테이터 기밀부를 섭동하는 플런저에 고정된 원통의 외면이 편심 로터의 회전에 의한 플런저의 상하 목흔들기 운동에 따라 스테이터 내면을 섭동하고 플런저 원통 및 스테이터로 둘러싸인 공간의 용적을 변화시켜서 기체를 수송하는 용적 이송식 진공펌프.

 

요동 피스톤형 기름 회전펌프의 원리도

 

① 스테이터, ② 편심 로터, ③ 플런저 ④ 스테이터 기밀부, ⑤ 밸브

 

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