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식각공정
-고출력 플라즈마 요구가 증가
-반도체 전공정중 가장 공정 강도가 크게 증가
-식각공정용 부품은 반도체 부품 중 가장 빠른 교체주기
-SiC 포커스링을 제조하는 3사는 모두 공장 증설을 진행
-공정 가혹화로 수혜 받는 티씨케이, 하나머티리얼즈, 케이엔제이
티씨케이 : 342억원 규모 시설 투자 결정
-비포마켓 업체
-SiC 포커스링 TEL, 어플라이드머터리얼즈, 램리서치 등 글로벌 식각 장비사를 거쳐 엔드유저에게 간접 공급
-반도체, 태양전지 및 LED용 부품 전문 제조기업
-매출 대부분 실리콘카바이드(SiC) 웨이퍼와 SiC 포커스링에서 발생. 그외 반도체용 고순도 흑연제품
하나머티리얼즈 : 1000억 원 규모 공장신설 투자
-애프터마켓 업체
-SiC 포커스링 엔드유저에게 직접 납품
케이엔제이 : 80억 원 규모 생산설비 증설
-애프터마켓 업체
-SiC 포커스링 엔드유저에게 직접 납품
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