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머크 한국 생산 증설예정.
삼성전자, SK하이닉스 대응 강화
국내 고객사와 화학기계연마(CMP) 슬러리 품질 테스트를 진행 중
2022년 상반기 내 납품을 시작할 전망
경기 평택에 CMP 슬러리 생산라인을 구축
2020년 개소한 한국첨단기술센터(K-ATeC) 내 연구개발(R&D) 시설과 제조설비 설치
머크는 극자외선(EUV) 린스액도 국내 생산을 준비 중
EUV 노광 공정 이후 찌꺼기 등을 제거하는 용도 불화아르곤(ArF) 등 기존 광원과 다른 전용 소재가 필요
EUV 린스액 역시 고객사와 퀄리티 체크를 진행 중. 그동안 해외 공장에서 생산 및 수입
머크가 2019년 인수한 버슘머트리얼즈 실적 증가
이 회사는 DPT(Double Patterning Technology) 재료를 삼성전자 등에 공급. DPT는 미세공정 회로를 덧그리는 ‘더블 패터닝’ 방식에서 반도체 손상을 막아주는 역할. 삼성전자는 DPT 물량 절반 정도를 버슘머트리얼즈에 의존
CMP 슬러리는 반도체 웨이퍼 표면을 연마해 평탄화하는 소재
웨이퍼와 CMP 패드 사이에 넣고 회전시키는 방식
CMP 소재는 고객사마다 요구하는 물성 차이로 인해 현지 개발 및 생산하는 추세.
공정 전환에 따른 수정 사항도 신속하게 대응 가능
이에 일본 쇼와덴코 등도 우리나라에 CMP 슬러리 공장 건설예정
국내 동진쎄미켐, 케이씨텍 등에 해외 기업이 가세하면서 경쟁이 심화 예상
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