본문 바로가기
반응형

분류 전체보기

 (517)
스프레이 각도와 노즐 높이의 영향 노즐 크기 : 절대 유량 결정 노즐 스프레이 각도와 대상물까지 거리 : 유체 공급 영역 결정 (유체 분배 영역) 커버할 영역 = Pi(hTan(Ø/2)) 2 h : 대상물까지 거리 Ø : 노즐 스프레이 각도 평방 미터당 분당 유량 : 유량/Pi(hTan(Ø/2)) 2 개별 노즐 유량 관련 데이터시트
스미토모화학 & 일본 소재 업체 스미토모화학 +2019년 일본 정부 수출 규제 이후, 현지화 생산 +전북 익산 소재 자회사, 동우화인켐 - EUV 포토레지스트 출하 시작 +2021 9월 100억 엔(약 954억 원) 한국에 투자,첨단 포토레지스트 설비 증설 +불화아르곤(ArF), 불화크립톤(KrF)용 포토레지스트 생산 라인 구축 *EUV 포토레지스트 -노광 공정 -포토레지스트를 웨이퍼에 도포시, EUV 빛이 닿은 부분 반응, 회로 모양으로 변하는 원리 -일본 업체들, 세계 시장 90% 점유 도쿄오카공업(TOK) +인천 송도공장, EUV 포토레지스트 생산 +범용인 ArF·KrF 포토레지스트 생산 시작 신에쓰화학 +TOK 송도 공장, 주문자상표부착생산(OEM) 검토 듀폰 +EUV 포토레지스트 생산 인프라 구축 및 삼성전자와 공급 여부 논의
램리서치 - 건식 레지스트 + 네덜란드 ASML, 벨기에 반도체 연구소 아이멕 협업. 건식(드라이) 레지스트 기술 개발. 극자외선(EUV) 노광 효율 향상에 도움 -- 기존 액체 형태 습식 레지스트 사용. 웨이퍼 회전상태에서 습식 레지스트를 떨어뜨리는 스핀 코팅 방식은 도포 시 낭비발생 ++ 건식 레지스트. 증착 공정으로 박막 형성. 화학기상증착 (CVD), 원자층증착(ALD) 등으로 막을 형성 후 빛을 조사하는 방식 >> EUV 공정 해상력 높이고 비용 낮출 것으로 기대 >> 습식 대비 5~10배 적은 원료를 사용하고 빛 조사량도 줄일 수 있어 원가절감에 용이 + SK하이닉스에 건식 레지스트 하층막과 건식 개발 공정 장비 공급예정 *해상력 : 렌즈나 감광 재료의 정밀 가능성 관련 수치. 해상력 높을수록 미세 패턴 구현 유리 *레..
삼성전자 반도체 투자 삼성전자 평택 3 공장 장비 발주 및 입고 예상 스케쥴 NAND : 2022 2Q 장비 발주 - 2022 3Q 장비 입고 및 양산 준비 DRAM : 2022 3Q 장비 발주 - 2022 4Q 장비 입고 및 양산 준비 Foundry : 2022 3Q 장비 발주 - 2022 4Q 장비 입고 및 양산 준비 삼성전자 평택 4공장 + 2022 하반기 착공 예상
디스플레이 장비업체 2022 전망 디스플레이 장비업체 현황 2023년 글로벌 LCD/OLED 장비 투자 규모: 올해보다 57% 감소한 53억 달러 예상 -LCD 장비 투자는 19억 달러 -OLED는 34억 달러
주성엔지니어링 주성엔지니어링 +태양전지 발전전환효율 25.15%를 달성 +양산 장비 기준 25.15% 효율 +N타입 단결정 이종접합(HJT) 태양전지 *발전전환효율? 태양전지의 태양빛을 전기에너지로 전환가능할수 있는 능력.
일본-반도체 장비 소재 기업 일본 반도체 장비 소재 기업 도쿄일렉트론(TEL) 후지필름 -CMP 슬러리 -포토레지스트 현상액 로옴(ROHM) -탄화규소(SiC) 반도체 (차세대 전력 반도체) -기존 실리콘 반도체보다 수십 배의 전압과 수백 배의 고열을 견디는 제품
어플라이드 머티리얼즈 (AMAT) 아이오닉 PVD 시스템 +단일 고진공 시스템 +물리기상증착(PVD), 화학기상증착(CVD), 표면처리 공정을 지원 +칩 금속배선은 절연체 안으로 형성된 ‘트렌치’와 ‘비아’ 안에 증착 --기존 방식? -금속 배선은 메탈 스택 사용해 증착 - 메탈 스택 구성 요소 -- 메탈이 절연체에 혼합되는 것을 방지하는 장벽층 -- 접합을 증진하는 라이너층 -- 메탈 주입을 촉진하는 시드층 -- 트랜지스터 전극에 사용되는 텅스텐, 코발트, 구리 등이 포함된다. 이중, 장벽층, 라이너층 미세화가 잘 되지 않아 전도성 메탈이 사용할 수 있는 공간이 줄어들고 금속배선이 미세해질수록 전기 저항이 높아진다. 칩을 3㎚(나노미터·1나노미터는 10억분의 1미터) 노드 이하로 미세화
반응형

티스토리툴바