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반도체에서 원자층증착공법(ALD) 수요가 높아지고 있음.
기존 화학적 증착공법(CVD)보다 막의 두께를 일정하게 조절가능.
2021년 ALD공법 적용 장비 SK하이닉스에 납품
디스플레이 제품에도 ALD공법을 적용 예정
ALD 적용 시 디스플레이 수명연장 가능?
애플은 최근 ALD 공법 적용을 LG디스플레이에 요구?
LG디스플레이는 주성엔지니어링과 관련 연구 공동 진행중
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반도체에서 원자층증착공법(ALD) 수요가 높아지고 있음.
기존 화학적 증착공법(CVD)보다 막의 두께를 일정하게 조절가능.
2021년 ALD공법 적용 장비 SK하이닉스에 납품
디스플레이 제품에도 ALD공법을 적용 예정
ALD 적용 시 디스플레이 수명연장 가능?
애플은 최근 ALD 공법 적용을 LG디스플레이에 요구?
LG디스플레이는 주성엔지니어링과 관련 연구 공동 진행중