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하나머티리얼즈 하나머티리얼즈 - 반도체 건식식각에 사용되는 부품을 생산 - 가스가 균일하게 내려오도록 하는 일렉트로드(Electrode) - 웨이퍼의 고정 및 가스가 균일하게 분포되게 하는 링(Ring) - 램리서치, TEL 등 식각장비사를 통해 삼성전자, SK하이닉스 등 제조업체에게 납품하는 비포 마켓 업체 - 하나머티리얼즈는 TEL - 티씨케이는 램리서치, AMAT V10(400단 이상) NAND - 삼성전자 2025년 양산 예정 - NAND 식각은 3스택(Stack)이 필요예상 - TEL 신규 장비 (2세대 극저온 식각장비) : 2스택만 으로 가능
반도체 장비 지능화 플랫폼 개발 사업 반도체 장비 지능화 플랫폼 개발 사업 - 한국전자기술연구원(keti) 주도 - '반도체 장비 지능화 플랫폼 개발 사업' 착수 - 반도체 장비 데이터 수집·처리·분석으로 공정 최적화 솔루션 기술을 개발 및 공정 데이터 규격을 표준화를 통해 범용 반도체 장비를 위한 플랫폼 형태로 전문화할 방침 - 초기, 데이터 분석 및 처리를 클라우드에서 운용 - 장기적, 반도체 공정 양산 라인(팹)에 시스템 구축 목표 - 향후, 반도체 제조사가 시스템을 직접 관리하는 '온 프레미스 컴퓨팅'형 플랫폼으로 전문화할 계획 - 2026년 플랫폼 구현 목표 - 서플러스글로벌, 증착장비 업체 바코솔루션 참여 - 서플러스글로벌 : 원자층증착장비(ALD) - 바코솔루션 : 물리적기상증착(PVD) 장비 - 증착 장비 공정 데이터 확보, ..
서진시스템 서진시스템 - 1996년에 설립 - 알루미늄 부품 전문 제조업체 - 알루미늄 원재료 가공 및 후처리 공정 기술을 내재화 - 2015년 텍슨 인수, 시스템 설계 역량 강화 - 에너지저장장치(ESS), 통신장비, 전기차, 반도체 부품 및 배터리팩, 엔드플레이트 등 전기차 부품 제조 -2023년 매출 7777억원, 영업이익 573억원 -2023년 4분기 기점, ESS 사업 본겨 성장 -2024년 매출 1조원 돌파예상
AMAT Platform - Vistara Vistara (비스타라): AMAT (어플라이드머티리얼) New Platform (플랫폼) + Load Port, LP (로드 포트) : Wafer Foup(웨이퍼 풉) 4개 혹은 6개 + Process Chamber, PM(프로세스 챔버)최소 4개에서 최대 12개 로 구성 + 엔듀라(Endura), 프로듀서(Producer), 센튜라(Centura), 센트리스(Centris) 등을 잇는 차세대 플랫폼”
한화 한화 - D램용 전공정 장비 삼성전자 출하 (2024-01) - 삼성전자 반도체연구소 D램 연구개발(R&D)팹 배치 • 원자층증착장비(ALD) • 플라즈마강화화학기상증착장비(PECVD) - 고대역폭메모리(HBM) 하이브리드 본더 개발
반도체 장비 - 국내기업 반도체 시장 : 반도체 미세화로 실리콘 관통전극(TSV)과 HKMG(High-K Metal Gate), 극자외선(EUV) 등 공정에 급격한 변화 발생 중 삼성전자, SK하이닉스 등 메모리 반도체 기업들 : 고대역폭메모리(HBM), DDR5와 같은 선단(최신) 제품 중심 공정 투자 진행 : 모바일용 D램 (LPDDR5T) 과 DDR5 ( 10나노급 5세대(1b) 공정) 에 HKMG 공정 활용 예상 * HKMG 공정 : 반도체 웨이퍼 상에서 누설전류가 흐르는 것을 막아주는 절연막 소재를 기존 실리콘 옥사이드 (SiO2)에서 High-K 물질로 대체하는 공정 : 두께와 누설전류 모두 감소, 기존 공정 대비 전력 소모가 약 13% 수준으로 감소 주성엔지니어링, 유진테크 및 증착 분야 기업들 : 원자증착장비(AL..
소니-이미지센서 일부 후공정 한국 이전 검토 소니 •이미지센서세계 1위 •이미지센서 생산 공정 일부 (후공정) 한국 이전 검토 중 : 일본에서 만든 이미지센서 웨이퍼 - 한국으로 이동 후, 후공정 •엘비세미콘, 두산테스나(엔지온), 에이엘티, ASE코리아 등과 설비 투자 등 사업성 검토 중 •10 클래스 수준 클린룸 환경 •테스트, 리콘(Recon)공정 및 후공정 검토 •리콘(Recon)공정:웨이퍼 테스트 이후 양품 칩 선별 및 재배열 •삼성전자 스마트폰 이미지센서 공급 확대 및 강화
AMEC AMEC > 식각 장비 주력 > 중국 반도체 장비업체 > 2004년 램리서치·어플라이드머티어리얼즈(AMAT) 등 반도체 장비업체 출신들이 모여 설립 > 대만 파운드리 TSMC에 5nm 공정용 건식 식각장비 공급

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